光伏行業生產工藝過程中通常使用HF和HNO3對硅料（單晶硅和多晶硅）進行酸洗，其廢氣特點是：含有大量NOx氣體，濃度變化范圍大，氧化度低，同時有含氟氣體共存。對于該類氣體，如需達到理想的處理效果，對設備、藥劑及維護要求均較高?，F綜合考慮成本和操作因素，對于此類廢氣的藥劑配方選擇略作概述，以供客戶參考。
| 序號 | 配方 | 維護要點 | 備注 |
|---|---|---|---|
| 1 | NaOH：5% | 1、 檢查pH值，當pH值低于13，應補加藥劑。每班前一次。 2、 檢查噴淋系統的噴嘴是否被堵塞。每周一次。 3、 更換藥液，并洗塔，每月一次。 |
藥劑配置難度較低。處理廢氣后的廢水應排入廢水處理站的廢水收集池。 |
| 2 | NH3·H2O：8%~10% | 1、 檢查pH值，當pH值低于12，應補加藥劑。每班前一次。 2、 檢查噴淋系統的噴嘴是否被堵塞。每兩周一次。 3、 更換藥液，并洗塔，每季度一次。 |
氨水有揮發性，配置時，有較難聞的氣味，處理效果較好。 |
| 3 | （NH2）2CO：8%~10% pH：1~3 H2O2：2.5% |
1、觀察處理效果，當處理效果不好時，應及時按配方要求補充(NH2) 2CO和H2O2。 2、檢查pH值，當pH值高于3，應補充酸。每周檢查一次。 3、檢查噴嘴是否被堵塞，每半月一次。更換藥劑并洗塔，每半年一次。 |
處理效果較好，成本較高，藥劑條件難以控制和掌握。 |
注：
1、除了以上提供的配方，業主也可以根據實際情況，綜合成本因素選擇合適的處理方案。
2、鑒于光伏行業硅料酸洗的廢氣特點，無論選擇何種配方，應嚴禁在藥液中添加含Ca2+、Mg2+等可能造成沉淀和結垢的物質。
3、對于水泵和風機，應該按照常規維護保養措施進行養護，以保持良好的運轉狀況，盡可能延長使用壽命。
4、以上所述，是僅針對光伏行業硅料酸洗過程的廢氣處理所出現的問題而提出的，對于廢氣處理的通用問題，不再贅述。
光伏行業硅料酸洗廢氣處理藥劑配方選擇和比較